干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆在泵壳内高速同步反向旋转的泵送装置，具有吸、排气功能。
操作原理
螺杆干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩、排气三个过程。随着转子的旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，现在将用一对齿来解释。
吸入过程
阳转子逆时针旋转，阴螺杆顺时针旋转。转子上端面为吸气段，下端面为排气端面。
压缩法
转子端面是排气端面。这里，阳转子顺时针旋转，阴转子逆时针旋转。转子上端面为吸气段，下端面为排气端面。
排气过程
在螺杆泵的排气过程中，当齿间容积与排气孔连通时，排气过程开始。随着齿间容积的不断减小，有排气压力的气体逐渐通过排气孔排出。
1特点
可靠性高。螺杆干式真空泵零件少，无易损件，运行可靠，使用寿命长。易于维护。
良好的动态平衡。螺杆干式真空泵无不平衡惯性力，机器高速运转平稳。
适应性强。螺杆干式真空泵具有强制输气的特点，能在较宽的压力范围内保持较高的抽气速度，排气量几乎不受排气压力的影响。
多相混合损耗。由于螺杆干式真空泵转子的齿面间有微小的间隙，所以能抽出腐蚀性的、有毒的、含尘的、可凝结的蒸汽等气体。
2应用
螺杆干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、医药、食品工业等领域。在半导体工业中，它用于生产芯片、液晶显示器、蚀刻和等离子体的化学气相沉积过程。
用于核工业中的核反应堆和真空获得；在化学工业中，用于真空蒸馏和溶剂萃取，以有效地回收溶剂，在脂肪酸生产中，用于消除水污染和清除喷射器中的堵塞。在医药工业中，用于回收液体药物和药物中间体，为人工器官的生产提供洁净无菌的条件，回收气体消毒剂；在食品工业中，用于调味、香精浓缩、食品包装等。
应用范围极其广泛。详情如下:
干燥、真空蒸馏、分子蒸馏、溶剂回收、油气回收、工厂通用真空、电子、真空镀膜、航空、核工业等都可以抽出普通空气、易燃易爆气体、腐蚀性气体，特别适用于对洁净真空要求较高的环境。具体应用:真空镀膜、真空蒸馏、真空干燥、单晶提拉、特种气体制造、离子刻蚀等。
真空泵用于纺织、冶金行业的氨纶、芳纶、纤维、冶金等相关工艺。具体应用包括真空消泡、VOD真空吹氧脱碳等。
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